您的位置： 专家智库 > >

刘键

作品数：95 被引量：53H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划中国科学院重点实验室基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 77个电子电信
  • 48个理学
  • 43个自动化与计算...
  • 43个一般工业技术
  • 35个金属学及工艺
  • 31个文化科学
  • 29个化学工程
  • 27个机械工程
  • 26个电气工程
  • 18个经济管理
  • 11个医药卫生
  • 8个轻工技术与工...
  • 8个交通运输工程
  • 8个航空宇航科学...
  • 6个矿业工程
  • 6个核科学技术
  • 6个自然科学总论
  • 5个建筑科学
  • 4个农业科学
  • 3个环境科学与工...

主题

  • 60个半导体
  • 54个电路
  • 54个金属
  • 53个衬底
  • 49个刻蚀
  • 48个光刻
  • 46个集成电路
  • 45个晶体管
  • 45个掺杂
  • 42个功率
  • 42个ALGAN/...
  • 40个激光
  • 39个微电子
  • 38个等离子体
  • 38个电极
  • 37个氮化镓
  • 36个氮化
  • 36个退火
  • 34个迁移率
  • 26个等离子体刻蚀

机构

  • 62个中国科学院微...
  • 25个中国科学院
  • 7个中国科学院微...
  • 5个浙江大学
  • 5个嘉兴科民电子...
  • 4个北京大学
  • 4个兰州大学
  • 4个中国科学院大...
  • 2个北京工业大学
  • 2个西安交通大学
  • 2个中国科学技术...
  • 2个扬州中科半导...
  • 2个中国科学院嘉...
  • 1个北京邮电大学
  • 1个广东商学院
  • 1个北京师范大学
  • 1个广西大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个南京大学
  • 1个南京航空航天...

资助

  • 65个国家重点基础...
  • 60个国家自然科学...
  • 34个国家高技术研...
  • 30个中国科学院重...
  • 29个国家科技重大...
  • 18个中国科学院知...
  • 17个中国科学院知...
  • 15个中国博士后科...
  • 12个中国科学院科...
  • 9个北京市自然科...
  • 8个“九五”国家...
  • 8个中国科学院科...
  • 6个国家攀登计划
  • 5个国际科技合作...
  • 5个国家重大科学...
  • 5个国家重点实验...
  • 4个教育部留学回...
  • 4个北京市科技计...
  • 4个国家杰出青年...
  • 4个国家教育部博...

传媒

  • 59个Journa...
  • 51个半导体技术
  • 39个电子器件
  • 29个物理学报
  • 25个功能材料与器...
  • 24个微电子学
  • 24个微纳电子技术
  • 23个固体电子学研...
  • 19个第十四届全国...
  • 18个第十二届全国...
  • 17个第十二届全国...
  • 17个第十三届全国...
  • 17个第十五届全国...
  • 16个红外与毫米波...
  • 16个真空科学与技...
  • 15个第十二届全国...
  • 15个第十四届全国...
  • 15个第十五届全国...
  • 13个光学学报
  • 13个微细加工技术

地区

  • 73个北京市
  • 2个广东省
  • 1个湖南省
  • 1个江苏省
共 78 条 记 录，以下是 1-10
刘新宇
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 ALGAN/GAN
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
和致经
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：ALGAN/GAN 欧姆接触 HEMT ALGAN/GAN_HEMT 钛
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李诚瞻
供职机构：株洲南车时代电气股份有限公司
研究主题：外延层 碳化硅 欧姆接触 ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石莎莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 控制部件 氮化硅薄膜 牺牲层 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共8页<12345678>
聚类工具0