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尹颢
作品数:
8
被引量:8
H指数:2
供职机构:
复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
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发文基金:
国家自然科学基金
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
沈绍群
复旦大学信息科学与工程学院电子...
杨恒
复旦大学信息科学与工程学院电子...
鲍敏杭
复旦大学信息科学与工程学院电子...
张大成
复旦大学
李昕欣
复旦大学信息科学与工程学院电子...
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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沈绍群
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院
研究主题:硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
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鲍敏杭
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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供职机构
所获资助
研究领域
张大成
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 腐蚀速率 分布图 各向异性腐蚀 深反应离子刻蚀
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