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陈少武
作品数:
133
被引量:200
H指数:7
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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合作作者
余金中
中国科学院半导体研究所
李运涛
中国科学院半导体研究所
樊中朝
中国科学院半导体研究所
屠晓光
中国科学院半导体研究所
徐学俊
中国科学院半导体研究所
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余金中
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 光开关 硅基 波导 多模干涉耦合器
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研究领域
李运涛
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 芯片 衬底 生物芯片 波导
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樊中朝
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:刻蚀 干法刻蚀 碳化硅 SOI 多模干涉耦合器
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屠晓光
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:干法刻蚀技术 硅表面 光刻技术 纳米尺寸 微电子工艺
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徐学俊
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电光调制器 硅基 双光子吸收 光开关 亚微米
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刘敬伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 光纤耦合 光开关矩阵 光开关 脊形波导
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张利斌
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光放大器 谐振腔 全光 微环谐振腔 高频脉冲
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王章涛
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:多模干涉耦合器 SOI 多模干涉 光开关 光开关矩阵
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费永浩
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电光调制器 波导 微环谐振腔 几何尺寸 微环
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夏金松
供职机构:华中科技大学
研究主题:铌酸锂 SOI 干法刻蚀 脊形波导 波导
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