2024年12月24日
星期二
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史丽娜
作品数:
2
被引量:27
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
理学
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合作作者
谢常青
中国科学院微电子研究所
李海亮
中国科学院微电子研究所
刘明
中国科学院微电子研究所
牛洁斌
中国科学院微电子研究所
胡媛
中国科学院微电子研究所
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李海亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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杜宇禅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面等离子体共振 传感器结构 传感器 衬底 半导体工艺
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朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
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胡媛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:浮栅 存储器 硅衬底 非挥发性存储器 非易失存储器
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李春
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:深紫外 多层膜 光学薄膜 氟化物 激光损伤
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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牛洁斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
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