2024年12月25日
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唐波
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
李志华
中国科学院微电子研究所
闫江
中国科学院微电子研究所
唐兆云
中国科学院微电子研究所
许静
中国科学院微电子研究所
王红丽
中国科学院微电子研究所
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李志华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 介质层 电极 波导 暗电流
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闫江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
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唐兆云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
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许静
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 隧道结 磁矩 沟道
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王红丽
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 集成度 刻蚀 埋氧层
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谢玲
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:波导 波导结构 绝缘体上硅 介质层 氮化硅
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杨萌萌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 集成度 衬底 半导体材料 浮体效应
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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李春龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
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陈邦明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 集成度 半导体材料 衬底 浮体效应
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