2024年12月26日
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贾少霞
作品数:
38
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H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
杨景华
中国科学院微电子研究所
王守国
中国科学院微电子研究所
蔡建
中国科学院微电子研究所
赵玲利
中国科学院微电子研究所
张兴华
中国科学院微电子研究所
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杨景华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
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王守国
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:常压 等离子体 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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蔡建
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:激光 脉冲激光烧蚀 微推进 推进器 垂直剖面
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赵玲利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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张兴华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:脉冲激光烧蚀 微推进 等离子体加速 碘 高频脉冲
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张宸
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:放电装置 放电效率 等离子体 工作气体 阻挡层
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韩传宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体发生器 常压等离子体 放电间隙 绝缘介质
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贾向红
供职机构:北京大学
研究主题:辐射防护 航天员 人造卫星 载人航天 卫星
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万军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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