2025年1月11日
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林发永
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供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
国家科技攻关计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
刘志弘
清华大学信息科学技术学院微电子...
仲涛
清华大学信息科学技术学院微电子...
付玉霞
清华大学信息科学技术学院微电子...
曾莹
清华大学信息科学技术学院微电子...
向采兰
清华大学信息科学技术学院微电子...
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刘志弘
供职机构:清华大学
研究主题:双极晶体管 发射区 锗硅异质结双极晶体管 发射极 锗硅
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仲涛
供职机构:清华大学
研究主题:RIE 集成电路 正交试验 铝 VLSI
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付玉霞
供职机构:清华大学
研究主题:SIGE_HBT 集成电路 HBT 干法刻蚀 SIGE
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朱小琳
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:计算机辅助制造 集成电路 质量管理 设备管理 数据库系统
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乔忠林
供职机构:清华大学
研究主题:EEPROM 掺杂 半导体工艺 存储器 长城文化
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曾莹
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:集成电路 计算机辅助制造 质量管理 HSPICE ESD保护结构
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刘爱华
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:SIGE 低噪声 SIGE_HBT 微波 HBT
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向采兰
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:集成电路 计算机辅助制造 数据库 CAM MOS器件
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鲁勇
供职机构:北京大学
研究主题:干法刻蚀 二氧化硅 厚度 行政区域 均匀性
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仲涛
供职机构:北京大学
研究主题:干法刻蚀 二氧化硅 厚度 均匀性
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