2024年12月24日
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陈高攀
作品数:
21
被引量:4
H指数:1
供职机构:
清华大学研究院
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发文基金:
清华大学自主科研计划
国际科技合作与交流专项项目
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
理学
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合作作者
潘国顺
清华大学研究院
罗桂海
清华大学研究院
罗海梅
清华大学研究院
周艳
清华大学研究院
顾忠华
清华大学研究院
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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罗桂海
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
罗海梅
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 衬底材料 超光滑表面 氧化性
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
周艳
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
顾忠华
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 硅晶片 二氧化硅溶胶 磨粒
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梁晓璐
供职机构:清华大学研究院
研究主题:膜电极 膜电极组件 转印 质子交换膜燃料电池 催化层
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徐莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:非贵金属 化学机械抛光 4H-SIC 晶片 非铂催化剂
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所获资助
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邹春莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
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相关人物
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