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于水
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25
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H指数:4
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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国家自然科学基金
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相关领域:
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交通运输工程
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合作作者
李庆祥
清华大学机械工程学院精密仪器与...
白立芬
清华大学机械工程学院精密仪器与...
薛实福
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐毓娴
清华大学机械工程学院精密仪器与...
刘永生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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白立芬
供职机构:清华大学
研究主题:柔性铰链 动物纤维 图像处理 细度测量 集成电路
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薛实福
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
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徐毓娴
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:显微镜 相移干涉术 力传感器 原子力显微镜 图像处理
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刘永生
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:力传感器 原子力显微镜 AFM 显微镜 微机械加工
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李罗生
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:A/D转换器 图像处理 高性能 SIGMA 锁相环
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李玉和
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 微装配 近场光存储 深亚微米 刻录机
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王晓晔
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:力传感器 原子力显微镜 MEMS 微装配 微系统
发表作品
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高宏
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:显微镜 光学轮廓仪 力传感器 原子力显微镜 表面粗糙度
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研究领域
王伯雄
供职机构:清华大学
研究主题:飞行时间 光切法 测量方法 线宽 测量系统
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