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朱玲琳
作品数:
56
被引量:22
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘龙海
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘蕾
中国科学院大学
张方
中国科学院上海光学精密机械研究...
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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刘龙海
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 测量方法 计算机组成 锁相放大器 波片
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张方
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
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刘蕾
供职机构:中国科学院
研究主题:移相 生物传感器 光刻机 剪切干涉仪 计算机组成
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夏克贵
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:固体激光器 激光器 泵浦源 工作波长 激光
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方瑞芳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光束 光刻 狭缝 移相 达曼光栅
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蔡舒窈
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波片 衍射光栅 方位角 信号处理系统 起偏器
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张佩
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:气溶胶粒子 气溶胶 生物气溶胶 重金属 本征
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袁乔
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 面形 锥角 干涉仪 起偏器
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