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沈绍群
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56
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H指数:6
供职机构:
复旦大学信息科学与工程学院
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合作作者
鲍敏杭
复旦大学信息科学与工程学院电子...
杨恒
复旦大学信息科学与工程学院电子...
李昕欣
复旦大学信息科学与工程学院电子...
尹颢
复旦大学信息科学与工程学院电子...
夏钟福
同济大学波耳固体物理研究所
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鲍敏杭
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
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供职机构
所获资助
研究领域
杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品
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研究领域
李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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供职机构
所获资助
研究领域
尹颢
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题:微机械 硅 静电驱动 各向异性腐蚀 非线性
发表作品
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供职机构
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夏钟福
供职机构:同济大学
研究主题:驻极体 压电性 压电 电荷 空间电荷
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孙立镌
供职机构:哈尔滨理工大学计算机科学与技术学院
研究主题:语义特征造型 语义特征 CAD 细胞元模型 特征依赖图
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供职机构
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王文襄
供职机构:复旦大学
研究主题:压力传感器 硅芯片 光刻 各向异性腐蚀 记号
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周玉美
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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任建军
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院电子工程系
研究主题:传感器 静电驱动 静电力 微机械结构 微机械
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所获资助
研究领域
窦凤春
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 掩模 微压传感器
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