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王宁
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8
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H指数:2
供职机构:
清华大学研究院
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机械工程
金属学及工艺
医药卫生
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合作作者
王伯雄
清华大学机械工程学院精密仪器与...
罗秀芝
清华大学机械工程学院精密仪器与...
龚桦
清华大学研究院
潘国顺
清华大学研究院
陈华成
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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龚桦
供职机构:清华大学研究院
研究主题:化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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罗秀芝
供职机构:清华大学
研究主题:光切法 飞行时间 足部 表面形貌 平均流速
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王伯雄
供职机构:清华大学
研究主题:飞行时间 光切法 测量方法 线宽 测量系统
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朱从锋
供职机构:清华大学
研究主题:特征提取 随机性 测试实验 表面形貌测量 ISAPI
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陈华成
供职机构:清华大学
研究主题:特征提取 光偏振 全息技术 三坐标测量机 测试实验
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顾忠华
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 硅晶片 二氧化硅溶胶 磨粒
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