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罗进

作品数：6 被引量：1H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 3个自动化与计算...
  • 1个哲学宗教
  • 1个生物学
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  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程
  • 1个医药卫生
  • 1个政治法律
  • 1个文化科学
  • 1个历史地理
  • 1个理学

主题

  • 6个金属
  • 5个等离子体
  • 5个离子刻蚀
  • 5个刻蚀
  • 5个刻蚀工艺
  • 5个刻蚀速率
  • 5个各向异性刻蚀
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  • 5个干法刻蚀工艺
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  • 4个自由基
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  • 3个对准标记
  • 3个深刻蚀
  • 3个气相沉积
  • 3个微细
  • 3个微细电火花
  • 3个物理气相沉积

机构

  • 6个北京大学
  • 1个西北大学

资助

  • 1个国家社会科学...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个教育部人文社...

传媒

  • 1个文博
  • 1个社会科学战线
  • 1个考古学报
  • 1个文物
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  • 1个中国科学：地...
  • 1个前沿科学

地区

  • 5个北京市
  • 1个陕西省
共 6 条 记 录，以下是 1-6
梁云
供职机构：西北大学文化遗产学院
研究主题：硬件加速器 形制 出土 加速器 硬件
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张轶铭
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 传声器 衬底 钛 高深宽比
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胡佳
供职机构：北京大学
研究主题：边界角 刻蚀 离子 测量方法 高密度等离子体
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李天宇
供职机构：北京大学
研究主题：衬片 PARYLENE 隔热性能 刻蚀 金属
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陈书慧
供职机构：北京大学
研究主题：高密度等离子体 干法刻蚀工艺 各向异性刻蚀 刻蚀速率 刻蚀
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李男男
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 衬片 PARYLENE 高密度等离子体 干法刻蚀工艺
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