2025年1月2日
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顾长志
作品数:
318
被引量:234
H指数:9
供职机构:
中国科学院物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
理学
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化学工程
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合作作者
李俊杰
中国科学院物理研究所
杨海方
国家纳米科学中心
金爱子
中国科学院物理研究所
李无瑕
中国科学院物理研究所
刘哲
中国科学院物理研究所
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李俊杰
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 石墨烯 定影 金刚石 抗蚀剂
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杨海方
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:石墨烯 定影 反应离子刻蚀 金属 电子束曝光
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金爱子
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:聚焦离子束 反应离子刻蚀 电子束 金属硅化物 离子束
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
李无瑕
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 自支撑 纳米 离子束 电极接触
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供职机构
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研究领域
刘哲
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:自支撑 基底 光刻胶 衬底 离子束辐照
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供职机构
所获资助
研究领域
金曾孙
供职机构:牡丹江师范学院理学院物理系
研究主题:金刚石膜 金刚石薄膜 金刚石 微弧氧化 化学气相沉积
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罗强
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:反应离子刻蚀 金属硅化物 金属 微带谐振器 衬底
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供职机构
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研究领域
夏晓翔
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金属 掩膜 金属结构 阵列结构 衬底材料
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供职机构
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全保刚
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:湿法腐蚀 光学元件 电子束曝光 定影 电子束光刻
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所获资助
研究领域
吕宪义
供职机构:吉林大学
研究主题:金刚石膜 金刚石 金刚石薄膜 金刚石单晶 化学气相沉积
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