2024年12月24日
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龚桦
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28
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H指数:2
供职机构:
清华大学研究院
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
深圳市水务发展中长期战略研究项目
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合作作者
顾忠华
清华大学研究院
潘国顺
清华大学研究院
王宁
清华大学研究院
高源
清华大学
史晓磊
清华大学研究院
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顾忠华
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 硅晶片 二氧化硅溶胶 磨粒
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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王宁
供职机构:清华大学研究院
研究主题:化学机械抛光 磨粒 络合剂 微电子 抛光
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高源
供职机构:清华大学
研究主题:纯化过程 纯化方法 纯化 高纯硅 混合树脂
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汤皎宁
供职机构:深圳大学
研究主题:微胶囊 电沉积 复合镀层 非水体系 壁材
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史晓磊
供职机构:清华大学研究院
研究主题:LED 化学机械抛光 蓝宝石 原子
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邹春莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
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周艳
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
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