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刘玉菲

作品数：23 被引量：34H指数：4
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 11 条 记 录，以下是 1-10
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李四华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵本刚
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 光学电流传感器 高灵敏度 光电隔离 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高翔
供职机构：浙江大学
研究主题：烟气 催化剂 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘文平
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万助军
供职机构：华中科技大学
研究主题：光纤准直器 光环行器 光纤阵列 端口 相位光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆参军
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 光学扫描 大尺寸 电磁驱动 光学电流传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗乐
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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