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陈蕊

作品数：7 被引量：20H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金国家科技重大专项更多>>
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地区

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共 13 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡婷
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP TSV 化学机械平坦化 多胺 络合剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高娇娇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹阳
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械平坦化 碟形 铜布线 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田园
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP AL合金 碱性条件 活性剂 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海龙
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP HCL 钽 盐酸胍 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨昊鹍
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 硅衬底 碱性条件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张宏远
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 抛光速率 HCL 钽 盐酸胍
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何彦刚
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 阻挡层 化学机械抛光 抛光表面 水溶液聚合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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