2025年1月2日
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甘志银
作品数:
108
被引量:180
H指数:7
供职机构:
华中科技大学机械科学与工程学院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
刘胜
韦恩州立大学
张鸿海
武汉国家光电实验室
汪学方
华中科技大学机械科学与工程学院...
罗小兵
华中科技大学能源与动力工程学院
林栋
华中科技大学机械科学与工程学院...
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刘胜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
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张鸿海
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 宽范围 扫描探针显微镜 MEMS
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汪学方
供职机构:华中科技大学
研究主题:真空封装 微机电系统 刻蚀 键合 硅
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罗小兵
供职机构:华中科技大学
研究主题:荧光粉 白光LED 荧光粉层 微型泵 量子点
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林栋
供职机构:华中科技大学
研究主题:真空封装 MEMS 阳极键合 MEMS器件 真空
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张卓
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 键合工艺 互连结构 公信力
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关荣锋
供职机构:盐城工学院
研究主题:SUB 二丙 烯酸 荧光粉 光催化
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刘川
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 圆片级 键合 真空
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张廷凯
供职机构:华中科技大学
研究主题:沉孔 样片 阳极键合 微机电系统 工作台
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方海生
供职机构:华中科技大学
研究主题:晶体生长 坩埚 提拉法晶体生长 提拉法 MOCVD
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