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张伟
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21
被引量:8
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海高等研究院
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电子电信
一般工业技术
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自动化与计算机技术
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合作作者
刘东方
中国科学院上海高等研究院
王聪
中国科学院上海高等研究院
陈小源
中国科学院上海高等研究院
鲁林峰
中国科学院上海高等研究院
杨辉
中国科学院上海高等研究院
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刘东方
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:籽晶 衬底 硅 选择性刻蚀 湿法刻蚀
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陈小源
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:石墨烯 衬底 基底表面 籽晶 热电材料
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王聪
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:籽晶 石墨烯 衬底 硅 选择性刻蚀
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鲁林峰
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:磁控溅射 FESI 多晶硅 籽晶 AZO薄膜
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杨辉
供职机构:中国科学院上海高等研究院
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杨康
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:热电材料 SN 多晶 硫化铋 热电性能
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刘洪超
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:薄膜生长 硅 选择性刻蚀 硅膜 硅工艺
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李明
供职机构:中国科学院上海高等研究院
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王旭洪
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:硅 选择性刻蚀 干法刻蚀工艺 硅膜 发电装置
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李东栋
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:纳米压印 阳极氧化铝 硅太阳电池 纳米 硅
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