2024年12月26日
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李伟
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102
被引量:14
H指数:3
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
车录锋
中国科学院上海微系统与信息技术...
武爱民
中国科学院上海微系统与信息技术...
仇超
中国科学院上海微系统与信息技术...
甘甫烷
中国科学院上海微系统与信息技术...
王磊
中国科学院上海微系统与信息技术...
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车录锋
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
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武爱民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅基 硅 波导 光子晶体 锗
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仇超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 模式转换器 输出波导 干涉仪 激光照射
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王磊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:图像 自标定方法 自标定 图像校正 实时图像
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蒋寻涯
供职机构:复旦大学
研究主题:光子晶体 自准直 设计方法 电磁波 介质
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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甘甫烷
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 硅基 光子晶体 硅波导 光栅
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盛振
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 硅基 干涉仪 激光照射 模式转换器
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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王营冠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:无线传感器网络 无线传感网 OFDM系统 传感器 传感网
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