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郑志宏

作品数：14 被引量：31H指数：4
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划美国国家自然科学基金上海市科学技术发展基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺医药卫生一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 33个电子电信
  • 28个理学
  • 23个一般工业技术
  • 18个金属学及工艺
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  • 1个冶金工程
  • 1个建筑科学

主题

  • 27个离子束
  • 23个离子注入
  • 20个SOI
  • 19个纳米
  • 18个退火
  • 18个离子束辅助
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  • 18个半导体
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  • 12个阴极
  • 12个离子
  • 11个等离子体
  • 9个氮化
  • 9个电极
  • 9个电流

机构

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  • 14个中国科学院上...
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  • 1个阿拉巴马大学
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  • 1个教育部
  • 1个昆明理工大学
  • 1个上海科技大学
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  • 1个同济大学

资助

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传媒

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  • 5个金属学报
  • 5个材料导报
  • 5个第十二届全国...

地区

  • 27个上海市
  • 6个北京市
  • 1个广西
共 35 条 记 录，以下是 1-10
王曦
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳襄怀
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞跃辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 离子注入 石墨烯 功率器件 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝瑞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI材料 SOI 介质薄膜 SOI_LDMOS 高介电常数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任琮欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢玉梅
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：碳化硅 高温 氧化铪 SOI材料 铪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昌荣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：血液相容性 安全性 离子束辅助沉积 人工心脏瓣膜 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江炳尧
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张峰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：注氧隔离 SOI 高温退火 波导 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯涛
供职机构：华东师范大学
研究主题：碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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