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张志强

作品数：6 被引量：11H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李绍良
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：缓冲气体 阳极键合 原子钟 MEMS技术 光学窗口
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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