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付爽
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H指数:1
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复旦大学
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合作作者
丁士进
复旦大学信息科学与工程学院微电...
张卫
复旦大学
胡龙龙
复旦大学信息科学与工程学院微电...
孟庆伟
复旦大学信息科学与工程学院微电...
王鹏飞
复旦大学
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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胡龙龙
供职机构:复旦大学
研究主题:旋涂 方块电阻 扩散阻挡层 结晶温度 阻挡层
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孟庆伟
供职机构:复旦大学
研究主题:超低介电常数 电场强度 乙烷 成孔剂 超大规模集成电路
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王鹏飞
供职机构:复旦大学
研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
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范仲勇
供职机构:复旦大学
研究主题:聚乳酸 嵌段共聚物 PLLA 共聚物 开环聚合
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