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高华磊
高华磊
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘松
中国科学院上海微系统与信息技术...
马颖蕾
中国科学院上海微系统与信息技术...
熊斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐德辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
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马颖蕾
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 硅 键合工艺 透镜 塑性形变
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刘松
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:磁场传感器 谐振结构 磁场测量 静电力 静电
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徐德辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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