2024年12月25日
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史晓磊
作品数:
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清华大学研究院
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发文基金:
深圳市水务发展中长期战略研究项目
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相关领域:
机械工程
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合作作者
龚桦
清华大学研究院
潘国顺
清华大学研究院
周艳
清华大学研究院
汤皎宁
深圳大学材料学院深圳市特种功能...
邹春莉
清华大学研究院
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汤皎宁
供职机构:深圳大学
研究主题:微胶囊 电沉积 复合镀层 非水体系 壁材
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龚桦
供职机构:清华大学研究院
研究主题:化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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邹春莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
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所获资助
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周艳
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
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