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刘佳
作品数:
2
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H指数:1
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家中长期科技发展规划重大专项
河北省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杨昊鹍
河北工业大学信息工程学院微电子...
陈蕊
河北工业大学信息工程学院微电子...
田园
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙鸣
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
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田园
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP AL合金 碱性条件 活性剂 化学机械抛光
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刘赫
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:DFB激光器 CATV 激光脉冲 激光焊接技术 激光焊接
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陈蕊
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
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所获资助
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杨昊鹍
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 硅衬底 碱性条件
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供职机构
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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钱彬
供职机构:河北能源职业技术学院
研究主题:DFB激光器 CATV 激光脉冲 激光焊接技术 激光焊接
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张存善
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:垂直腔面发射激光器 太阳电池 半导体微腔 特性分析 半导体激光器
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