2025年1月18日
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邢少川
作品数:
3
被引量:15
H指数:2
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
天津市自然科学基金
国家科技重大专项
河北省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
田雨
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘效岩
河北工业大学信息工程学院微电子...
马迎姿
河北工业大学信息工程学院微电子...
王胜利
河北工业大学信息工程学院微电子...
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田雨
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 表面粗糙度 磨料
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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刘效岩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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马迎姿
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:粗糙度 表面粗糙度 CMP 化学机械抛光 磨料
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刘利宾
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光 CMP 化学机械抛光 去除速率 插塞
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王林锋
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:采样保持电路 流水线模数转换器 自举开关 增益自举 运算放大器
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
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胡轶
供职机构:新疆师范大学化学化工学院
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 碱性抛光液 抛光速率
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