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王仲杰
王仲杰
作品数:
7
被引量:25
H指数:4
供职机构:
河北工业大学电子信息工程学院
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发文基金:
河北省自然科学基金
天津市自然科学基金
国家中长期科技发展规划重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
王辰伟
河北工业大学电子信息工程学院
赵亚东
河北工业大学电子信息工程学院
栾晓东
河北工业大学电子信息工程学院
郑环
河北工业大学电子信息工程学院
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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赵亚东
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 抛光速率 掩膜
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栾晓东
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 去除速率 碱性 阻挡层
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郑环
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 阻挡层 RU 非离子
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张乐
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 H2O2 阻挡层 RU
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周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
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闫辰奇
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
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