您的位置： 专家智库 > >

杨昊鹍

作品数：5 被引量：14H指数：3
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 13个电子电信
  • 4个金属学及工艺
  • 3个化学工程
  • 3个一般工业技术
  • 3个理学
  • 2个哲学宗教
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个文化科学
  • 1个冶金工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程

主题

  • 12个化学机械抛光
  • 12个机械抛光
  • 12个CMP
  • 11个抛光
  • 11个抛光液
  • 9个去除速率
  • 9个磨料
  • 9个活性剂
  • 9个碱性条件
  • 9个衬底
  • 8个硅衬底
  • 5个氧化铈
  • 4个单晶
  • 4个单因素
  • 4个低K材料
  • 4个低K介质
  • 4个低K介质材料
  • 4个电路
  • 4个电偶
  • 4个电偶腐蚀

机构

  • 13个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 11个国家中长期科...
  • 8个国家科技重大...
  • 8个河北省教育厅...
  • 8个河北省自然科...
  • 7个天津市自然科...
  • 5个国家自然科学...
  • 5个河北省高等学...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个河北省科技计...
  • 2个天津市重大科...
  • 2个天津市科技攻...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个新疆维吾尔自...
  • 1个天津市科技计...
  • 1个博士后科研启...
  • 1个博士科研启动...
  • 1个国家级大学生...
  • 1个河北省科技厅...

传媒

  • 10个半导体技术
  • 9个微纳电子技术
  • 6个功能材料
  • 5个微电子学
  • 4个电镀与涂饰
  • 4个稀有金属
  • 3个人工晶体学报
  • 3个河北工业大学...
  • 2个稀有金属材料...
  • 2个天津科技
  • 2个Journa...
  • 2个表面技术
  • 2个中国表面工程
  • 2个微细加工技术
  • 2个纳米技术与精...
  • 1个教育与职业
  • 1个粉末冶金技术
  • 1个光电子．激光
  • 1个技术与市场
  • 1个电镀与精饰

地区

  • 13个天津市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鸣
供职机构：河北工业大学
研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张宏远
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 抛光速率 HCL 钽 盐酸胍
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于江勇
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 混合磨料 化学机械抛光 LED 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈蕊
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪姣
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP BTA 螯合剂 接触角 苯并三氮唑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏显召
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 混合磨料 LED 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田园
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP AL合金 碱性条件 活性剂 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李英的
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 混合磨料 化学机械抛光 LED 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0