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国家自然科学基金(60236010)

作品数:32 被引量:108H指数:6
相关作者:刘明王太宏陈大鹏叶甜春谢常青更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所中国科学院北京理工大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划更多>>
相关领域:电子电信理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

文献类型

  • 30篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 26篇电子电信
  • 3篇理学
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇机械工程

主题

  • 6篇纳米
  • 5篇刻蚀
  • 4篇等离子体
  • 4篇MANET
  • 3篇等离子体刻蚀
  • 3篇网络
  • 3篇密钥管理
  • 3篇库仑阻塞
  • 3篇OES
  • 2篇碳纳米管
  • 2篇热导率
  • 2篇自组织
  • 2篇量子
  • 2篇纳米管
  • 2篇纳米压印
  • 2篇刻蚀工艺
  • 1篇带通
  • 1篇带通信号
  • 1篇单电子晶体管
  • 1篇单电子器件

机构

  • 15篇中国科学院微...
  • 7篇中国科学院
  • 4篇北京理工大学
  • 2篇电子科技大学
  • 2篇南京大学
  • 2篇重庆邮电大学
  • 1篇北京信息科技...
  • 1篇清华大学
  • 1篇燕山大学
  • 1篇重庆邮电学院
  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇苏州科技大学
  • 1篇电子工业出版...
  • 1篇北京机械工业...

作者

  • 12篇刘明
  • 6篇王太宏
  • 6篇陈大鹏
  • 5篇叶甜春
  • 5篇谢常青
  • 4篇陶然
  • 3篇商立伟
  • 3篇涂德钰
  • 3篇李兵
  • 3篇王巍
  • 2篇龚云贵
  • 2篇陈宝钦
  • 2篇兰中文
  • 2篇易里成荣
  • 2篇王越
  • 2篇孙江宏
  • 2篇王丛舜
  • 2篇王巍
  • 2篇范东升
  • 2篇王顺满

传媒

  • 8篇Journa...
  • 6篇物理学报
  • 2篇红外与激光工...
  • 2篇半导体技术
  • 2篇通信学报
  • 2篇电子学报
  • 2篇Defenc...
  • 1篇中国科学(E...
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇电子器件
  • 1篇微电子学
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇Scienc...

年份

  • 1篇2009
  • 5篇2008
  • 2篇2007
  • 8篇2006
  • 8篇2005
  • 3篇2004
  • 6篇2003
32 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于二叉树和自组织思想的密钥管理技术在MANET中的应用被引量:1
2006年
提出了基于二叉树和自组织公钥体制的密钥管理方案在MANET中的应用;给出了子图选择和最佳路径选择算法,根据最佳路径算法提出了星形最佳路径选择算法,在没有中心控制节点控制下实现安全密钥交换;仿真结果证明,该方案具有比较灵活的扩展性和更高的性能。
王顺满陶然王越
关键词:MANET自组织密钥管理
基于OES的等离子体刻蚀过程被引量:3
2008年
光学发射光谱(OES)诊断技术是高密度等离子体刻蚀工艺过程的关键技术,OES信号作为一种实时信号可以用来预测刻蚀过程的进展程度和判断刻蚀性能的好坏。在自行研发的等离子体刻蚀机平台上,采用美国海洋公司的OES传感器系统,采集多晶硅刻蚀工艺中所产生的OES信号,利用主元素分析法(PCA)对OES数据进行压缩处理,提高了实时信号的快速处理能力。对实验数据的分析表明:波长为405nm的OES谱线可以明确显示出等离子体刻蚀进程,是一条表征等离子体刻蚀过程的状态检测及终点检测控制的特征谱线。在此基础之上,提出了基于PCA法的终点检测算法,用以判断刻蚀终点。
王巍王玉青孙江宏兰中文龚云贵
关键词:等离子体刻蚀OES
An Efficient Key Agreement Framework to MANET
2006年
Protocols for key management are compared and evaluated from the point of view on mobile ad hoc networks (MANET). The issues of fault-tolerance and efficiency of key distribution protocols for group communications in MANET are addressed. Most key distribution protocols existing today are primarily designed for wire-line networks. These protocols either fail to work as intended or cannot work at all when they are applied to the demanding environment of MANET. Parameters and performance of different protocols are analyzed, and then a flat is given out, on which new protocols or existing ones are designed and modified, so that they can be robust, scalable and efficient in MANET.
王顺满陶然王越
关键词:移动网络MANET网络节点系统安全
Organic,Bistable Devices with AgTCNQ Charge Transfer Complex by Vacuum Co-Deposition
2008年
The AgTCNQ thin-film was prepared by vacuum vapor co-deposition and characterized by infrared spectral analysis,and then a uniform AgTCNQ (TCNQ-- 7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane) thin-film layer was sandwiched in a Ti/AgTCNQ/Ati crossbar structure array as organic bistable devices (OBD).A reversible and reproducible memory switching property,caused by intermolecular charge transfer (CT) in the AgTCNQ thin-film, was observed in the organic bista- ble devices. The positive threshold voltage from the high impedance state to the low impedance was about 3.8-5V, with the reverse phenomenon occurring at a negative voltage of - 3.5- - 4. 4V,lower than that with a CuTCNQ active layer. The crossbar array of OBDs with AgTCNQ is promising for nonvolatile organic memory applications.
涂德钰姬濯宇商立伟刘明王丛舜胡文平
高密度等离子体刻蚀机中的终点检测技术被引量:4
2005年
高密度等离子体刻蚀是当今超大规模集成电路制造过程中的关键步骤。目前已经开发出许多终点检测技术。文章讨论了终点检测技术的原理,综述了目前主流刻蚀机使用的两种终点检测技术—OES和IEP—的最新进展,讨论了终点检测技术在深亚微米等离子体刻蚀工艺中的应用,以及所面临的挑战。
王巍叶甜春陈大鹏刘明李兵
关键词:等离子体刻蚀工艺OES
热压印光刻技术复制波带片图形研究被引量:3
2005年
针对只需单次曝光的菲涅尔波带片器件,给出了结合电子束光刻和热压印光刻进行大规模复制的完整工艺路线,即首先采用电子束光刻制作热压印模版,之后用热压印光刻进行波带片的大规模复制,所制得的波带片图形的最外环宽度为250 nm,直径为196μm,环数为196环。初步实验结果表明,这种方法具有很好的重复性和易用性,且可以进行低成本波带片的精确复制。
范东升王德强康晓辉陈大鹏谢常青
关键词:波带片纳米压印热压印
90nm硅栅过刻蚀工艺中功率对等离子体性质的影响被引量:2
2007年
通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外部参数的关系.实验表明在射频功率增加的过程中,能量耦合系数处于一个相对稳定的常值;当等离子体处于局部加热状态时,绝大部分的电子处于附着状态,维持等离子体的电子数目相对减少.等离子体中的射频能量耦合空间随着射频功率的增加,分布状态会变得更加一致化.
张庆钊谢长青刘明李兵朱效立
关键词:等离子体干法刻蚀朗谬尔探针
One-Time Programmable Metal-Molecule-Metal Device
2008年
A one-time programmable metal-molecule-metal device, with a modified Rotaxane LB film as the functional layer, is proposed for potential use in organic programmable and fault tolerant circuits like inorganic anti-fuse devices used in field programmable gate arrays. All fabrication methods involved are low temperature processes, ensuring that this device can be integrated with other organic devices. Electrical measurements show that this device has a good one-time programming capability. Its break down voltage is 2.2V, off-state resistance is 15kΩ, and on-state resistance is 54Ω These characteristics come from the penetration of metal atoms into molecular film under high electronic field.
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸
关键词:FPGAROTAXANEPROGRAMMABLE
分数阶傅里叶变换域上带通信号的采样定理被引量:34
2005年
傅里叶变换和采样定理是信号处理领域的两大基本问题,采样定理研究了傅里叶变换域上带限信号的采样和重构理论.分数阶傅里叶变换(FRFT)是傅里叶变换的一种推广,与之相应的采样理论目前还不十分完备,所以有必要从FRFT域上重新研究采样定理.本文首先得到了均匀冲激串采样信号的FRFT,然后在此基础上导出了FRFT域上带通信号和低通信号的采样定理和重构公式.这些结果是经典理论的推广,将丰富分数阶傅里叶变换的理论体系.
张卫强陶然
关键词:分数阶傅里叶变换带通信号采样定理
Fabrication and Application of a Novel Freestanding Stencil Bi-material Cantilever Structure
This paper reports a novel freestanding stencil bi-material cantilever structure without sacrificial layer pro...
Weibing Wang**a
共4页<1234>
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