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中国博士后科学基金(2012M510420)

作品数：3 被引量：17H指数：3
相关作者：王同庆赵德文何永勇路新春门延武更多>>
相关机构：清华大学更多>>
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相关领域：机械工程电子电信化学工程更多>>

领域

  • 4个机械工程
  • 4个电子电信
  • 3个化学工程
  • 3个交通运输工程
  • 2个经济管理
  • 2个生物学
  • 2个天文地球
  • 2个矿业工程
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  • 2个冶金工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个动力工程及工...
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个建筑科学
  • 2个水利工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个核科学技术

主题

  • 4个铜互连
  • 4个抛光
  • 4个抛光垫
  • 4个晶圆
  • 4个互连
  • 4个化学机械抛光
  • 4个机械抛光
  • 4个非均匀
  • 4个非均匀性
  • 4个300MM晶...
  • 4个材料去除率
  • 4个MM
  • 2个大位移
  • 2个大位移钻井
  • 2个大涡模拟
  • 1个大宛齐油田
  • 1个大王
  • 1个大网
  • 1个大网络
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机构

  • 4个清华大学
  • 2个安徽工业大学
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  • 1个安徽技术师范...
  • 1个安徽省农业科...
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  • 1个安徽冶金科技...
  • 1个安徽医科大学
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  • 1个蚌埠教育学院
  • 1个北方工业大学
  • 1个北方民族大学
  • 1个北海道大学
  • 1个北京跟踪与通...
  • 1个北京工商大学
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  • 1个北京航空工程...
  • 1个北京经济管理...

作者

  • 4个路新春
  • 4个门延武
  • 4个韩桂全
  • 4个何永勇
  • 4个赵德文
  • 4个王同庆
  • 2个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
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传媒

  • 4个机械工程学报
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  • 2个分析化学
  • 2个中国科技论坛
  • 2个中国药物依赖...
  • 2个植物学通报
  • 2个资源科学
  • 2个植物生态学报
  • 2个生态学报
  • 1个当代电视
  • 1个分子科学学报
  • 1个现代商业银行
  • 1个汽车维修
  • 1个化工科技
  • 1个当代经济研究
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  • 1个行政与法
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  • 1个工业安全与环...
  • 1个人民论坛
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国家自然科学基金(51205226)
相关领域：电子电信 机械工程 化学工程
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国家自然科学基金
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
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创新研究群体科学基金(51021064)
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创新研究群体科学基金
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