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国家自然科学基金(59773007)

作品数：6 被引量：44H指数：3
相关作者：洪啸吟陈明陈其道陈明林天舒更多>>
相关机构：清华大学更多>>
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相关领域：化学工程理学电子电信更多>>

领域

  • 1个化学工程
  • 1个电子电信
  • 1个理学

主题

  • 1个氧化硅
  • 1个溶胶
  • 1个溶胶-凝胶法
  • 1个溶胶-凝胶法...
  • 1个树脂
  • 1个凝胶法制备
  • 1个重氮
  • 1个重氮树脂
  • 1个重氮盐
  • 1个无显影气相光...
  • 1个相互作用
  • 1个抗蚀剂
  • 1个磺化
  • 1个磺化杯芳烃
  • 1个激光
  • 1个激光光刻
  • 1个光刻
  • 1个光敏
  • 1个硅膜
  • 1个二氧化硅

机构

  • 1个北京大学
  • 1个清华大学
  • 1个浙江大学

作者

  • 1个陈明
  • 1个张拥军
  • 1个曹维孝
  • 1个洪啸吟
  • 1个涂光中
  • 1个段生权

传媒

  • 1个高等学校化学...
  • 1个感光科学与光...
  • 1个清华大学学报...
  • 1个国际学术动态
  • 1个Chines...
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国家自然科学基金(59633110)
相关领域：电子电信 化学工程 理学
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