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国家自然科学基金(51205226)

作品数:5 被引量:20H指数:3
相关作者:王同庆赵德文何永勇路新春门延武更多>>
相关机构:清华大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金中国博士后科学基金创新研究群体科学基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程化学工程更多>>

领域

  • 4个机械工程
  • 4个电子电信
  • 3个化学工程
  • 3个交通运输工程
  • 2个经济管理
  • 2个生物学
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  • 2个建筑科学
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  • 2个核科学技术

主题

  • 4个铜互连
  • 4个抛光
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  • 4个晶圆
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  • 4个化学机械抛光
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机构

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作者

  • 4个路新春
  • 4个门延武
  • 4个韩桂全
  • 4个何永勇
  • 4个赵德文
  • 4个王同庆
  • 2个丁亮
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个张晓华
  • 1个丁为民
  • 1个丁为民
  • 1个丁亮
  • 1个丁俊男
  • 1个丁俊萍
  • 1个丁克强
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传媒

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  • 1个行政与法
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  • 1个人民论坛
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中国博士后科学基金(2012M510420)
相关领域:机械工程 电子电信 化学工程
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中国博士后科学基金
相关领域:经济管理 医药卫生 自动化与计算机技术 理学 农业科学
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创新研究群体科学基金
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创新研究群体科学基金(51021064)
相关领域:机械工程 交通运输工程 电子电信
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