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国家高技术研究发展计划(2008AA8040208)
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刘明
谢常青
陈军宁
朱效立
吴秀龙
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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安徽大学
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安徽大学电子信息工程学院
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中国工程物理研究院
研究主题:数值模拟 炸药 激光 铀 惯性约束聚变
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研究主题:惯性约束聚变 光学元件 激光 熔石英 光纤
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北京工业大学
研究主题:数值模拟 功能模块 抗震性能 性能研究 软件设计
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北京工业大学激光工程研究院
研究主题:激光技术 激光器 激光焊接 激光 准分子激光
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