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国家教育部博士点基金(20101317110001)

作品数：2 被引量：4H指数：1
相关作者：陈爱华刘志国杨帆杨瑞霞孙聂枫更多>>
相关机构：中国电子科技集团第十三研究所河北工业大学更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

机构类别

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领域

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主题

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资助

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传媒

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地区

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中国电子科技集团第十三研究所
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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学
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