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国家自然科学基金(61076114)

作品数：2 被引量：2H指数：1
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复旦大学
研究主题：儿童 影响因素 实证研究 护理 老年人
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复旦大学微电子研究院
研究主题：集成电路 铜互连 脉冲电镀 GAN 铜互连线
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题：薄膜晶体管 存储器 原子层沉积 光刻机 集成电路
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
复旦大学微电子学院
研究主题：集成电路 半导体 原子层沉积 存储器 栅驱动
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