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中国博士后科学基金(20060400427)
中国博士后科学基金(20060400427)
作品数:
2
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相关作者:
林惠旺
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刘理天
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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阮勇
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 继电器 刻蚀 微机电系统 微电子机械系统
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林惠旺
供职机构:清华大学
研究主题:超大规模集成电路 半导体 压力传感器 压阻式压力传感器 灵敏度
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谢丹
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 衬底 动态随机存储器 电极 石墨烯
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