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国家自然科学基金(90307007)
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韩翔
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吴文刚
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 MEMS 悬臂梁 各向异性刻蚀 聚焦离子束
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李轶
供职机构:北京大学
研究主题:电镀铜 MEMS 镍 单晶硅 镀镍工艺
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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韩翔
供职机构:北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题:MEMS 镍 单晶硅 镀镍工艺 品质因数
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李志宏
供职机构:北京大学信息科学技术学院
研究主题:MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
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黄风义
供职机构:东南大学
研究主题:低噪声放大器 参数提取方法 等效电路模型 CMOS 小信号等效电路模型
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张少勇
供职机构:东南大学能源与环境学院射频与光电集成电路研究所
研究主题:CMOS CMOS射频集成电路 CMOS全集成 放大器设计 低噪声放大器
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闫桂珍
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 玻璃衬底
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