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国家教育部博士点基金(20060358050)

作品数：10 被引量：25H指数：3
相关作者：郑津津周洪军霍同林沈连婠钟鹏飞更多>>
相关机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金中国科学院“百人计划”更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

领域

  • 16个机械工程
  • 15个自动化与计算...
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  • 3个环境科学与工...
  • 3个农业科学

主题

  • 12个英文
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  • 11个光束
  • 10个衍射
  • 9个光刻
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  • 8个束线
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  • 7个掩模
  • 7个射线
  • 7个实验站
  • 7个红外
  • 6个定标
  • 6个有限元
  • 5个电离室
  • 5个氧原子
  • 5个有限元法
  • 5个光刻技术
  • 4个电离截面

机构

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  • 4个中国科学院
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  • 1个辽宁工学院
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  • 1个合肥国家同步...
  • 1个中国高等科学...
  • 1个沈阳铸锻工业...

资助

  • 19个国家自然科学...
  • 19个国家教育部博...
  • 16个中国科学院“...
  • 15个国家重点基础...
  • 8个国家高技术研...
  • 7个高等学校学科...
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传媒

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  • 5个智能系统学报
  • 4个机械工程学报
  • 4个仪器仪表学报
  • 4个现代制造工程
  • 4个工业控制计算...
  • 4个真空电子技术

地区

  • 17个安徽省
  • 1个辽宁省
  • 1个四川省
共 19 条 记 录，以下是 1-10
周洪军
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑津津
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题：接近式光刻 高次谐波 英文 曲面重构 三维重建
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈连婠
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：基于WEB 大规模定制 仿真 优化设计 接近式光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
霍同林
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：多层膜 真空紫外 软X射线 磁控溅射 光束线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟鹏飞
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题：光学元件 英文 高次 臭氧 氧原子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戚泽明
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：EU 长余辉 配位数 英文 EXAFS研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王冠军
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：波段 高次谐波 光谱学 真空紫外 NSRL
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国斌
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：真空紫外 光束线 发光 发光性质 真空紫外光谱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王瑜
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：非均匀B样条曲面 曲面重构 铝盐 烯酸 异相催化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王伟
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：丙烯腈 电池隔膜 预后 反应器 云检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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