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国家自然科学基金(90607023)

作品数：3 被引量：6H指数：2
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领域

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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈玮
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 快闪存储器 沉积厚度 介质薄膜 纳米晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄宇健
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题：原子层淀积 MIM HFO2 混合信号集成电路 电压系数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张敏
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题：快闪存储器 金属纳米晶 INVESTIGATION EMBEDDED DIELECTRIC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许军
供职机构：复旦大学
研究主题：取向层 柔性基板 成膜 膜厚均匀性 载流子迁移率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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