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国家重点基础研究发展计划(2009CB724205)
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朱煜
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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陈学东
供职机构:华中科技大学
研究主题:超精密 负刚度 隔振器 减振器 减振
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罗欣
供职机构:华中科技大学
研究主题:机器人 超精密 光刻机 四足机器人 减振器
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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曾理湛
供职机构:华中科技大学
研究主题:磁悬浮 超精密 光刻机 隔振系统 补偿器
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李小清
供职机构:华中科技大学
研究主题:活动度 铲斗 可控机构 装载机 动臂
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李鑫
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
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李小平
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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