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国家高技术研究发展计划(2007AA04Z330)
作品数:
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相关作者:
郭航
王建艳
林智鑫
王盛贵
曾毅波
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郭航
供职机构:厦门大学
研究主题:铷 MEMS 原子钟 微机电系统 硅片
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王建艳
供职机构:厦门大学
研究主题:压电片 压电加速度计 加速度计 频率带宽 PZT
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张翊
供职机构:厦门大学
研究主题:磁控溅射 碳纳米管 薄膜体声波谐振器 结构参数优化 结构参数
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裴强
供职机构:厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
研究主题:PZT 静电纺丝法 静电纺丝 退火
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
包达群
供职机构:厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
研究主题:锆钛酸铅 谐振器 溶胶凝胶 薄膜体声波谐振器 结构参数优化
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所获资助
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林智鑫
供职机构:厦门大学
研究主题:阳极键合 硅 SI 键合 三层结构
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所获资助
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曾毅波
供职机构:厦门大学
研究主题:微机电系统 微型直接甲醇燃料电池 化学机械抛光 流场板 直接甲酸燃料电池
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王盛贵
供职机构:厦门大学物理与机电工程学院
研究主题:铷 原子钟 硅片 惰性气体 沟道
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吴玉玲
供职机构:厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
研究主题:石墨烯 CVD 化学气相沉积法 化学气相沉积 超声处理
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刘琦
供职机构:厦门大学
研究主题:磁控溅射 锂离子电池 超声 MEMS器件 MEMS
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