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国家重点基础研究发展计划(G1999033108)

作品数：12 被引量：68H指数：4
相关作者：王向朝阮勇张大成程兆年罗乐更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所北京大学中国科学院更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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资助

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传媒

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  • 5个光学学报

地区

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  • 1个辽宁省
共 30 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阮勇
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 继电器 刻蚀 微机电系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程兆年
供职机构：上海大学通信与信息工程学院新型显示技术及应用集成教育部重点实验室
研究主题：分子动力学 模式识别 分子动力学模拟 电子封装 有限元模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓红
供职机构：清华大学
研究主题：直接甲醇燃料电池 多孔硅 MEMS 微机械加工 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董良
供职机构：清华大学信息科学技术学院电子工程系
研究主题：室温红外探测器 介质上电润湿 非晶硅 微测辐射热计 TFT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄卫东
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电子封装 残余应力 封装 有限元模拟 倒装焊
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周俊
供职机构：清华大学
研究主题：多孔硅 MEMS 牺牲层 挥发 铝元素
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗乐
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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