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国家重点基础研究发展计划(001CB610601)
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杜寰
夏洋
韩郑生
赵玉印
张志纯
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赵玉印
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 反应离子刻蚀 多晶硅栅 碳化硅
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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张志纯
供职机构:湘潭大学能源工程学院
研究主题:块体非晶合金 玻璃形成能力 铁基块体非晶合金 WO 灵敏度
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杜寰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:LDMOS 硅基液晶 像素电路 静电保护 晶体管
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韩郑生
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 建模方法
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