您的位置： 专家智库 > >

上海市科委科技攻关项目(11511500900)

作品数：2 被引量：5H指数：1
相关作者：李昕欣俞锋于海涛王家畴刘洁丹更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院上海交通大学更多>>
发文基金：上海市科委科技攻关项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 5个自动化与计算...
  • 3个金属学及工艺
  • 3个机械工程
  • 3个电子电信
  • 3个电气工程
  • 3个建筑科学
  • 3个交通运输工程
  • 3个一般工业技术
  • 3个理学
  • 2个文化科学
  • 1个化学工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个核科学技术
  • 1个医药卫生

主题

  • 5个感器
  • 4个悬臂
  • 4个悬臂梁
  • 3个单芯片
  • 3个电路
  • 3个电热驱动
  • 3个电阻
  • 3个信号
  • 3个压阻
  • 2个带宽
  • 2个单层膜
  • 2个单晶
  • 2个单晶硅
  • 2个单晶硅片
  • 2个单片
  • 2个单片集成
  • 2个氮化硅
  • 2个氮化硅薄膜
  • 2个低应力
  • 2个滴加

机构

  • 5个中国科学院
  • 2个哈尔滨工业大...
  • 2个上海交通大学
  • 2个中国科学院研...
  • 1个复旦大学
  • 1个哈尔滨理工大...
  • 1个国防科学技术...
  • 1个苏州大学
  • 1个中科院上海微...
  • 1个沈阳仪器仪表...

资助

  • 5个上海市科委科...
  • 4个国家自然科学...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 2个国家杰出青年...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个长江学者和创...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个福建省自然科...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个福建省教育厅...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个博士科研启动...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个哈尔滨市科技...
  • 1个哈尔滨市科技...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个中国科学院“...
  • 1个中国科学院战...

传媒

  • 5个传感技术学报
  • 5个第十二届全国...
  • 3个机械工程学报
  • 3个仪表技术与传...
  • 3个微纳电子技术
  • 2个光学精密工程
  • 2个Journa...
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个纳米技术与精...
  • 2个第11届全国...
  • 1个分析化学
  • 1个高等学校化学...
  • 1个哈尔滨理工大...
  • 1个传感器技术
  • 1个半导体技术
  • 1个机械强度
  • 1个中国机械工程
  • 1个复旦学报（自...
  • 1个红外与毫米波...
  • 1个无机材料学报

地区

  • 5个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王家畴
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 衬底 单晶硅 热电堆 热偶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞锋
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 模态 电热驱动 式微 生化传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘洁丹
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 表面贴装封装 微流量传感器 表面贴装 封装技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0