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国家自然科学基金(61275170)

作品数：2 被引量：4H指数：1
相关作者：谢常青王冠亚牛洁斌李海亮付杰更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院微电子研究所长春理工大学更多>>
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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
付杰
供职机构：长春理工大学理学院
研究主题：大高宽比 X射线光刻 电子束光刻 电镀 硬X射线
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李金华
供职机构：长春理工大学
研究主题：ZNO SUB 量子点 光致发光 ZNS
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王冠亚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衍射光栅 大高宽比 电子束光刻 芯片 入射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓华
供职机构：长春理工大学
研究主题：半导体激光器 量子点 分子束外延 纳米线 锑化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏志鹏
供职机构：长春理工大学理学院
研究主题：ZNO 半导体激光器 氧化锌 光致发光 光催化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方铉
供职机构：长春理工大学
研究主题：纳米线 量子点 半导体 ZNO 半导体激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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