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上海市科委纳米专项基金(11nm0560800)
上海市科委纳米专项基金(11nm0560800)
作品数:
2
被引量:14
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相关作者:
吴俊杰
李源
傅云霞
蔡潇雨
雷李华
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上海市计量测试技术研究院
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上海市科委纳米专项基金
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李源
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
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吴俊杰
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:电容传感器 纳米测量机 白光干涉 接触式测头 共聚焦显微镜
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蔡潇雨
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:白光干涉 原子力显微镜 纳米 MES 微球
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供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:分辨率 合作共赢 监视器 数据采集和处理 低损耗
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何明轩
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 校准 微机电系统 电容式 差分
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供职机构:中国计量大学
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卢歆
供职机构:上海交通大学
研究主题:纳米测量机 高灵敏度 可变电容 微加工 电极
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傅云霞
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:激光跟踪仪 光栅 纳米 测头 校准
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雷李华
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:光栅 纳米 校准 计量学 膜厚
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