您的位置： 专家智库 > >

国家高技术研究发展计划(2002AA4Z3000)

作品数：13 被引量：64H指数：4
相关作者：王向朝李小平施伟杰马明英何乐更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所华中科技大学同济大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金上海市科委重大科技攻关项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程经济管理更多>>

领域

  • 16个电子电信
  • 11个自动化与计算...
  • 10个机械工程
  • 8个一般工业技术
  • 7个医药卫生
  • 7个文化科学
  • 7个理学
  • 6个金属学及工艺
  • 6个电气工程
  • 6个交通运输工程
  • 4个建筑科学
  • 3个经济管理
  • 3个化学工程
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个环境科学与工...
  • 3个政治法律
  • 2个生物学
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个农业科学
  • 1个天文地球

主题

  • 13个光刻
  • 12个物镜
  • 12个光刻机
  • 12个光学
  • 11个投影光刻
  • 11个投影物镜
  • 10个投影光刻机
  • 10个成像
  • 9个激光
  • 8个电机
  • 8个像质
  • 8个激光干涉
  • 8个激光干涉仪
  • 8个光干涉仪
  • 8个光学测量
  • 7个像差
  • 7个焦深
  • 7个工件台
  • 6个套刻
  • 5个最小二乘

机构

  • 10个中国科学院上...
  • 5个华中科技大学
  • 3个中国科学院研...
  • 3个中国科学院大...
  • 2个同济大学
  • 2个中国科学院
  • 1个贵阳医学院附...
  • 1个福建省肿瘤医...
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个河北工程大学
  • 1个吉林大学
  • 1个军事医学科学...
  • 1个陕西省人民医...
  • 1个苏州大学
  • 1个嘉兴学院
  • 1个上海交通大学...
  • 1个上海应用技术...
  • 1个苏州大学附属...
  • 1个云南大学
  • 1个上海铁道大学

资助

  • 17个国家高技术研...
  • 14个国家自然科学...
  • 6个国家科技重大...
  • 5个上海市青年科...
  • 4个国家重点基础...
  • 4个上海市自然科...
  • 3个上海市科学技...
  • 3个国际科技合作...
  • 3个上海市科委国...
  • 2个福建省自然科...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个国家攀登计划
  • 2个上海市“科技...
  • 2个上海市国际科...
  • 2个上海市科技人...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个广东省医学科...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个贵州省科技攻...
  • 1个国家社会科学...

传媒

  • 12个光学学报
  • 10个中国激光
  • 8个激光与光电子...
  • 6个光子学报
  • 6个机床与液压
  • 4个光学精密工程
  • 4个中国机械工程
  • 3个机械工程学报
  • 3个仪器仪表学报
  • 3个物理学报
  • 3个激光杂志
  • 3个微细加工技术
  • 3个光学仪器
  • 3个第十五届全国...
  • 3个第十一届全国...
  • 2个光电子．激光
  • 2个电子测量技术
  • 2个计量学报
  • 2个强激光与粒子...
  • 2个科技开发动态

地区

  • 10个上海市
  • 5个湖北省
  • 1个江苏省
  • 1个福建省
共 17 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李小平
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施伟杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 成像质量 空间频率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马明英
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何乐
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 工件台 不平度 测量系统 激光干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王帆
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
聂宏飞
供职机构：华中科技大学
研究主题：温度控制 光刻机 投影物镜 集成电路芯片 芯片键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张冬青
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 成像质量 像差 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈飞彪
供职机构：华中科技大学
研究主题：硅片表面 光刻机 硅片 茶叶揉捻机 测光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林桂娟
供职机构：厦门理工学院机械与汽车工程学院
研究主题：电活性聚合物 能量转换 CC-LINK现场总线 CC 集散控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0