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国家自然科学基金(10305008)

作品数：12 被引量：26H指数：3
相关作者：辛煜宁兆元狄小莲虞一青鲁涛更多>>
相关机构：苏州大学复旦大学江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
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相关领域：理学电子电信一般工业技术机械工程更多>>

领域

  • 20个理学
  • 17个电子电信
  • 15个一般工业技术
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主题

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  • 14个感应耦合
  • 13个光学
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  • 10个电学
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  • 8个电性质
  • 8个射频
  • 7个电路
  • 7个电特性
  • 7个电学特性
  • 7个性能研究
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  • 6个电子温度
  • 5个氮化硅
  • 5个氮化钛
  • 4个等离子体密度

机构

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  • 1个上海交通大学...

资助

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传媒

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地区

  • 18个江苏省
  • 2个上海市
共 20 条 记 录，以下是 1-10
辛煜
供职机构：苏州大学
研究主题：感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁兆元
供职机构：苏州大学
研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
狄小莲
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：感应耦合等离子体 变压器模型 感应耦合 平板型 朗谬尔探针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
虞一青
供职机构：苏州大学
研究主题：感应耦合等离子体 封装玻璃 金属阴极 金属阳极 射流装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲁涛
供职机构：南京大学
研究主题：红外光谱 SINX 性能表征 光学性能 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙刚
供职机构：苏州大学
研究主题：RAMAN光谱 感应耦合 光学带隙 类金刚石碳膜 类金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴雪梅
供职机构：苏州大学
研究主题：螺旋波 光致发光 螺旋波等离子体 等离子体 球磨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许圣华
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：高温热管 氟化非晶碳薄膜 ECR-CVD SIO 余热回收
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁荣庆
供职机构：复旦大学
研究主题：等离子体 低温等离子体技术 剂量计 固态照明 介质阻挡放电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄壮雄
供职机构：南京大学
研究主题：光栅 信号波形 激光 多普勒效应 微振动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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