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国家自然科学基金(60376038)
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李昕欣
杨尊先
王跃林
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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杨尊先
供职机构:福州大学
研究主题:量子点 旋涂 锂离子电池 量子阱材料 壳核
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于映
供职机构:南京邮电大学
研究主题:氮化硅薄膜 共面波导 射频MEMS开关 天线 液晶
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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鲍海飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
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左国民
供职机构:中国人民解放军防化指挥工程学院
研究主题:降解研究 悬臂梁 芥子气 TPD 降解
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金大重
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 激励线圈 驱动线圈 悬臂 硅微机械
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刘剑
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 悬臂 激励线圈 微机械传感器 驱动线圈
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林丽华
供职机构:福州大学
研究主题:数据存储 RF_MEMS开关 硅基 低驱动电压 阵列
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余海涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 压阻传感器 高阶 悬臂梁 微悬臂梁
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